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SiC attach tool
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采用硬度2000HV以上、热导率170W/m·K以上的高导热烧结SiC材料。
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特性： 采用硬度2000HV以上、热导率170W/m·K以上的高导热烧结SiC材料。
用途： 在HBM（高带宽存储器）制造工艺中，用于DRAM芯片叠层作业时对高性能TCB加热器的保护及快速热传导。
产能： 根据产品设计规格，具备月产100～200件的生产能力。
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采用硬度2000HV以上、热导率170W/m·K以上的高导热烧结SiC材料。
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特性： 采用硬度2000HV以上、热导率170W/m·K以上的高导热烧结SiC材料。
用途： 在HBM（高带宽存储器）制造工艺中，用于DRAM芯片叠层作业时对高性能TCB加热器的保护及快速热传导。
产能： 根据产品设计规格，具备月产100～200件的生产能力。
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特性： 采用硬度2000HV以上、热导率170W/m·K以上的高导热烧结SiC材料。
用途： 在HBM（高带宽存储器）制造工艺中，用于DRAM芯片叠层作业时对高性能TCB加热器的保护及快速热传导。
产能： 根据产品设计规格，具备月产100～200件的生产能力。
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